OES 데이터를 이용해 plasma leak, MFC fail 등의 plasma 상태 변동 발생시 검출은 가능하지만 불량과 연관성 진단이 어려운 상황에서, OES 데이터를 이용하여 Plasma의 상태(정상/이상) 진단을 위한 데이터마이닝 알고리즘 기반의 분류모델을 구축을 하였다. 여러 조건의 실험 결과 OES 데이터를 이용하여 Plasma상태를 정확하게 진단할 수 있었다. 뿐만 아니라 중요 변수를 제공함으로써 Plasma 상태 변동에 대한 중요 원인을 제공하였다.