학회 후기

ISMI2015(International Symposium on Semiconductor Manufacturing Intelligence)는 반도체 제조 산업과 관련된 다양한 연구 결과를 공유하는 자리로 올해는 대전 카이스트에서 네번째를 맞았다. 첫번째 기조연설로 도쿄대 Mitsuo Gen 교수님께서 'Recent Metaheuristics Techniques for Semiconductor Manufacturing Scheduling'을 주제로 강연을 하였다. Mitsuo Gen 교수님은 일본인으로 Genetic algorithm, Manufacturing Scheduling, 그리고 Logistics System 분야에서 상당히 명성이 높은 분임을 알게 되었고, 연구의 질을 숫자만으로 판단할 수 는 없지만, 연구논문에 대한 인용 통계가 2010년 이후 9000건이 넘는다는 사실에 놀라지 않을 수 없었다. 두번째 기조연설로는 국립칭화대 Chen-Fu Chien 교수님께서 'Big Data Analytics and Decision Analysis for Manufacturing Intelligence to Empower Industry 3.5'라는 주제로 강연을 하였다. 개인연구를 진행하면서 이 교수님의 논문을 여러차례 참고하였는데 참고 논문의 저자의 연설을 실제로 볼 수 있다는 사실에 설레었다. 또한 강연 내용 중의 하나였던 반도체 포토공정의 오버레이 관련 연구내용은 대만의 반도체 업체도 같은 문제를 가지고 학계와 연계하여 열심히 연구를 하고 있다는 것에 대해서 경각심을 갖게 되었다.

발표 후기

Statistics, Quality, and Yield１ 세션에서 'Wafer Yield Prediction based on Virtual Metrology-Generated Variables'란 주제로 난생 처음 영어 발표를 진행하였다. 첫 경험답게 부끄러운 실수로 제대로 된 발표를 진행하지 못하여 아직도 창피함이 가시질 않는다. 외국인 처럼 말 하듯이 자연스럽게 발표를 할 수 있도록 더 많은 발표 연습을 통해서 부끄러움이 아닌 실력으로 청중을 집중시켜야겠다고 다짐하게 되었다. 두번째 문제는 발표 후 받은 세가지 질문에 대해서 영어로 질문자와 청중에게 나의 의견을 제대로 전달하지 못한 것이다. 되돌아서 생각해 보면 짧은 표현으로도 충분히 질문에 대답을 할 수 있었는데 그러지 못한게 아쉬움이 남는다. 결국 발표를 제대로 하지 못한 것이 결국 질의응답까지 이어지게 되었다고 생각한다. 지금까지 개인적으로 이렇게 실망스러운 발표를 한 적이 없었지만 이번 실패를 토대로 다가오는 영어 발표는 반드시 극복 할 것이라고 다짐에 다짐을 하였다.

- 질문 -

1. 모델의 안정성이란 말의 의미가 무엇인가?

The stability is an important requisite for a feature selection algorithm to construct the robust prediction models in the training set.

2. 가상 계측 데이터의 정합성을 어떻게 보장 할 수 있는가?

Accuracy of the virtual metrology used our proposed method is over about 95%. Actually, a lot of engineers in the company which provided us with the virtual metrology data are already used to monitoring their process with the virtual metrology data.  

3. Support Vector Machine 알고리즘은 고려해야 할 파라미터가 많은데 어떻게 실험을 진행하였는가?