학회 1일차

1. 오전 튜토리얼: 전반적으로 SPC와 APC에 대한 리뷰. 현장에서 Process Control 하는 데 가장 어려운 문제 다음 3가지로 예약할 수 있을 듯. Nonlinear relationship, Time invariance, Equipment invariance. 뒤에 2가지는 External environment invariance로 요약 가능 할 듯.  즉, 외부환경에 로버스트한 Process Control을 할 수 있는 기술 필요.

2. 오후 세션: 회사 소개 등을 주로 해 건질 것이 없었음. 한 가지 상식선에서 알은 것은 ASML (네덜란드 회사)이 포토장비 회사라는 것. 더우기 전 세계 포토장비를 거의 독점하다시피 한다는 점 (90% 이상??).

3. 오후 테크니컬 세션: 웨이퍼 검사에서 특정 위치 선정 문제. Wafer location selection based upon process monitoring coverage. 다양한 위치 조합이 나올 수 있음으로 최적화 기법 사용.

4. 대체로 우리 연구실에서 현재 수행하고 있는 연구의 방향이 어느정도 옳다는데 안심. 즉, 데이터마이닝 알고리즘에 대한 필요성 인식. 아직 전 세계적으로 현장에서는 데이터마이닝 접목한 Process Control 기법 초보단계. 우리 연구실에 행했던 그리고 하고 있는 연구들이 크게 도움이 될 것으로 판단.

학회 2일차

1. 오전 세션 1: Martin Schelienberger의 키노트. 참 재미있는 발표. 현재 많이 사용하고 있는 200/300mm 반도체 공정과 미래의 450mm 공정과의 차이점과 관련성을 알기 쉽게 설명. 현재 삼성은 300mm가 주. 여기서 ***mm는 웨이퍼의 크기로 보면 됨. 즉, 크면 클수록 생산성이 향상됨. 또한 같은 크기의 웨이퍼라도 그내의 선폭을 줄이면 생산성이 향상됨. 이 모든 것이 엄청난 기술력을 필요로함. 참고로 삼성은 메모리 쪽에서 세계 1위를 질주하고 있으나 시스템 메모리 쪽에는 인텔과 격차가 매우 큰 세계 4위정도...

2. 오전 세션 2: 아주 중요한 사람을 만남. James Moyne. 소속은  University of Michigan과 Applied Materials 공동 소속. The International Technology Roadmap for Semiconductor Manufacturing (ITRS)'s Big Data Roadmap을 발표 (public.itrs.net). 즉, 반도체 공정에서의향후 15년간 빅데이터의 로드맵을 발표. 기존 3V (Volume, Velocity, Variety)에 Veracity와 Value 추가가 인상적. Veracity는 Data Quality에 관한 것이고 Value는 데이터의 가치있는 해석을 의미하는 것이다.  강의 내내 Predictive라는 말을 강조 했는데 평소 많이 들은 예기지만 그래도 우리 연구실에서 하고 있는 일들에 대해 확신이 들음. 강의 끝에 반도체 현장에서실제로 강조해야 하는 일은 Data Quality와 Data Merge라고 했음. 한마디로 반도체 공정에서 데이터마이닝이 현재 그리고 앞으로 꼭 필요한 분야라는 것에 대해 화인을 할 수 있는 매우 유익한 강의. 발표 후에 찾아가 이런저런 대화를 하면서 친분을 쌓음. 인상 좋은 옆집 할아버지 같은 느낌... 

3. 오후 세션 1: 대부분 통계 및 데이터마이닝을 이용한 제조공정 분석이라 맨 앞에서 질문도 많이 하며 재미있게 들음. Fraunhofer라는 독일에 있는 연구소에서 꽤 많은 사람들이 왔음. Georg Roedor라는 사람이  Lasso를 이용한 Virtual Metrology Modeling에 대해 발표... 변수의 수가 얼마 안되는 문제에 굳이 Lasso를 사용한다는 것이 정당성면에서 부족했지만 그래도 흥미있는 발표. 이어 발표된 논문. Adaptive EWMA를 이용해 공정의 변화를 감지. 즉 가중치를 일정하게 사용하는 것이 아니라 공정 변화에 맞추어 바꾼다는 점에서 Time invariance를 해결하기 위한 시도로 보임. 간단한 아이디어이지만 나름 흥미로움.

4. 오후 세션 2:  오스트리아에 있는 ams AG에서 온 Peter. T2와 T2 Decomposition에 대해 언급. 나중에 예기했는데 내 논문을 2개나 읽고 응용한 것임. 나를 존경의 눈으로 보는데 기분이 좋아짐. 우리 연구실 논문이 세계적으로 임팩트가 있다는 사실에 뿌듯함.

5. 오후 세션 3: 삼성 이상호 박사 (포스텍 전치혁 교수님 연구실 출신) 가 발표... 클러스텅을 이용해 시그널 데이터를 군집하고 각 스텝별로 군집결과를 얻어 이를 예측변수로 사용하고 yield를 종속변수를 사용하여 의사결정나무 만듬. 시그널 데이터를 단순히 correlation을 이용하여 군집한다는 것이 한계점이 있을 것으로 보임. 두번째 미국 비스텔 지사에 온 사람 발표. 매우 실망스러움... 무슨 장사꾼도 아니고 말도 안되는 소리를 저리도 자신있게 한담...

6. 학회 리셉션: 오후 7시 학회에서 마련해 준 버스로 1시간 30분 동안 로마시내 투어. 그리고 Corsetti라는 곳에서 저녁를 제공. 파스타와 난자완스 (??). 너무 별로임. 무엇보다고 거의 2시간 30분동안 저녁식사를 하는데 질림. 아직 시차적응이 안되 거의 실신상태에서 호텔로 오니 거의 11시. 그래도 유럽 사람들은 여유있게 저녁식사하네... 문화의 차이가 이정도 일 줄이야... 좀 여유있게 살아야 겠다고 다짐.

학회 3일차
 
오전세션 1: 일본 파나소닉에서 온 Tomoya Tanaka 발표. 가상계측에 대해 발표했는데 내용은 조금 실망. 결론적으로 가상계측을 하는데 데이터로 부터 하지 말고 물리적 모델을 사용하자는 내용. 데이터마이너로서 "글쎄다." 라는 생각이 듬. 정확한 물리적 모델이 있을 경우는 모르겠지만 많은 경우 그렇지 않으므로 데이터 기반 모델링을 하는 것인데. 내용은 그렇고 발표전에 본인은 영어를 잘 못하니 준비한 스크립트를 그냥 읽는다고 하고 읽어 버림. 간단한 질문도 전혀 이해 못하고. 이런 일본이 과연 앞으로 잘 될가 그렇지 않을까 두고 볼 일.
 
오전세션 2: 우리 연구실 박찬희 발표. 큼직한 목소리로 잘 시작. 전반적으로 문안하였지만 발표의 논리성이 여전히 부족. 영어로 그 정도면 잘 했다고 볼 수 있지만 그래도 좋은 기회였는데 아쉬움이 많이 남는 발표. 질문도 아주 단순했는데 잘 알아듣지 못하고 딴 소리를 하여 많이 아쉬움이 남음. 질문은 논문에서 사용한 기법들의 running time 을 단순하게 물어본 것인데 너무 앞서나가 답하려고 함. 그냥 이렇게 대답하면 될 것을... " 현 논문에서 사용한 데이터로는 **분이내로 돌아간다." 질문에 답할 때는 일단 질문자가 물어 본 것에 충실해서 답을 하면 되는데 질문자의 의도를 본인이 나름데로 파악하여 잘못된 대답을 하는 경우가 많음. 좀 더 자신있었으면 하는 바램. 어쨌던 수고 많았다. 찬희야!
 
오전세션 3: 황당한 일이 있어 우리 학생들은 그렇지 않기 바라는 마음에서… 당시 발표자는 발표를 마치고 본 논문의 교신저자가 이번 학회에 부득이 한 사정으로 참석을 못 하였으니 질문이 있으면 교신저자에게 메일로 컨택하라고 하고 그냥 자리로 돌아옴. 분명 잘못된 행동이며 비록 대답을 잘 못할 것 같더라도 질문을 받고 최선을 다해 답을 했어야 함.
 
3일간의 학회가 끝났다.  이번 학회는 많은 생각을 하게 한 학회였다. 제조공정 특히 반도체 공정에서 데이터마이닝, 빅데이터 기술이 현재 그리고 미래에 꼭 필요한 기술이라는 것을 다시한번 확인할 수 있었다. 또한 실제 반도체 공정에서 사용되는 용어와 상식적인 내용도 많이 배울 수 있었다. 이탈리아 로마라는 아름다운 곳에서 공부하고 쉬면서 재충전 할 수 있었다. 좋은 기회를 주셔서 가족들에게, 한국에 남아있던 우리 연구실 나머지 인원들께 감사의 마음 전합니다..